化學名：四甲氧基硅烷（電子級）

CAS：681-84-5

牌號：BOSIL-681

產品信息

四甲氧基硅烷

分子式：C₄H₁₂O₄Si

分子量：152

產品特性

四甲氧基硅烷可以水解形成二氧化硅研磨粒子（硅溶膠），其分散性及選擇性好，活性極強，易于處理過程清洗的廢液，常用于硅、SiO₂層間介電層的拋光。

四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高，做成二氧化硅研磨粒子成本更低。

理化數據

注：以上數據僅供參考，不能作為技術規格制定

產品應用

四甲氧基硅烷（電子級）可用作溶膠-凝膠反應中間體。

四甲氧基硅烷（電子級）可以做無氯或者超低氯的耐熱材料。

四甲氧基硅烷（電子級）用作半導體行業制作高品質研磨粒子。

四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯價格低，二氧化硅含量高，可以用于制備半導體CVD制程。

保存儲存期

密封保存，保質期12個月。容器打開后應封好以防水汽進入產生水解。

包裝

可用容器的大小型號可以向新藍天處查詢。