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化學名:四甲氧基硅烷(電子級)
CAS:681-84-5
牌號:BOSIL-681
產品信息
四甲氧基硅烷
分子式:C4H12O4Si
分子量:152
產品特性
四甲氧基硅烷可以水解形成二氧化硅研磨粒子(硅溶膠),其分散性及選擇性好,活性極強,易于處理過程清洗的廢液,常用于硅、SiO2層間介電層的拋光。
四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高,做成二氧化硅研磨粒子成本更低。
理化數據
注:以上數據僅供參考,不能作為技術規格制定
產品應用
四甲氧基硅烷(電子級)可用作溶膠-凝膠反應中間體。
四甲氧基硅烷(電子級)可以做無氯或者超低氯的耐熱材料。
四甲氧基硅烷(電子級)用作半導體行業制作高品質研磨粒子。
四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯價格低,二氧化硅含量高,可以用于制備半導體CVD制程。
保存儲存期
密封保存,保質期12個月。容器打開后應封好以防水汽進入產生水解。
包裝
可用容器的大小型號可以向新藍天處查詢。
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